Plasmastrahlquellen dienen zum Reinigen von Oberflächen, zum Aktivieren vor Beschichtungsbeginn sowie zur Plasma-Unterstützung während des eigentlichen PVD- Beschichtungsprozesses. Die neue Plasmastrahlquelle PBS 180 der IPT Ionen- und Plasmatechnik GmbH, Kleinwallstatt, wurde ohne Beanstandungen in PVD-Beschichtungsanlagen der Baureihe Classic 590 der Pfeiffer Vacuum Technology AG, Asslar, getestet. Das Plasma brannte stabil bei einem Arbeitsdruck von 1 bis 4 x 10-4 mbar. Eingesetzt wurden Sauerstoff und Stickstoff. Andere Gase sind wählbar. Da die Plasmaquellen von IPT einen elektrisch neutralen Strahl generieren, sollen sich auch isolierende Materialien behandeln lassen, ohne dass es auf den Substraten zu störenden Aufladungseffekten kommt.
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