Die Trockenläufer A 100 L von Pfeiffer Vakuum wurden mit ihren kompakten Abmessungen speziell zur flexiblen Integration in Halbleiterproduktionsanlagen entwickelt. Diese ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen sind ideal für saubere Anwendungen wie Schleusen- und Transferkammern sowie für alle anderen nicht korrosiven Anwendungen.
Trotz ihrer geringen Abmessungen bieten die Pumpen ein hohes Saugvermögen und kurze Abpumpzeiten. Heute sind die A 100 L Pumpen weltweit in allen führenden Halbleiterfabriken installiert. Die Pumpen sind für den Betrieb im Reinraum geeignet. Die Weiterentwicklung A 100 L ES bietet bis zu 50 % niedrigeren Energieverbrauch. Im niedrigen Druckbereich ist das Saugvermögen deutlich erhöht. Weitere Vorteile sind ein niedrigerer Enddruck und ein reduzierter Geräuschpegel. Neben der Energieeinsparung kann die A 100 L ES einen Enddruck von 7×10–4 mbar (hPa) erreichen.
Pfeiffer Vakuum, Asslar, Tel. (06441) 802-0, Halle 26, Stand D20
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