Eine erhöhte Abbildegenauigkeit durch die Verringerung des Arbeitsspaltes soll die präzise elektrochemische Bearbeitung (PEM) ermöglichen. Außerdem sind mit dem Verfahren noch feinere Strukturen als bisher herstellbar. Darauf weist das Institut für Werkzeugmaschinen und Fabrikbetrieb an der TU Berlin hin. Eine entsprechende Bearbeitungsmaschine, die PEM 1360 der PEM Technologiegesellschaft für elektrochemische Bearbeitung mbH in Dillingen, ist bereits am Markt. Komplexe Strukturen von nur 100 µm Größe seien damit zu fertigen.
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