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Auf den Nanometer genau verfahren

Linearaktoren
Auf den Nanometer genau verfahren

(op) Für die Mikro- und Nanopositionierung bietet der Hersteller hochauflösende Linearaktoren an, die auf Stellwegen bis zu 50 mm Auflösungen von 25 bis 50 nm ermöglichen. Mit einer Piezo-Option lässt sich die Genauigkeit sogar auf unter 1 nm steigern. Mit den Antrieben sind laut Hersteller Stellkräfte von bis zu 120 N zu erreichen. Mit den Standard-Versionen kann der Anwender Geschwindigkeiten von bis zu 50 mm/s für das Verfahren einplanen. Die Bewegung der Linearaktoren wird mit nichtdrehenden Spindeln realisiert. Alle Einheiten sind mit Schrittmotoren erhältlich. Alternativ sind Servomotoren mit hochauflösenden differenziellen Encodern verfügbar.

Physik Instrumente, Karlsruhe, Tel. (0721) 4846-222
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