Bauteile aus Kupfer und Silizium lassen sich mit Spannungspulsen von wenigen Nanosekunden präzise bearbeiten.
Wie sich dreidimensionale Mikrostrukturen mit einem elektrochemischen Verfahren relativ einfach herstellen lassen, haben Berliner Wissenschaftler am Fritz-Haber-Institut der Max-Planck-Gesellschaft herausgefunden. Sie verwenden einen 10 µm dünnen Draht als Werkzeugelektrode, um Material abzutragen. Die Präzision von wenigen hundert Nanometern erreichen sie, indem sie Spannungspulse einsetzen, die nur wenige Nanosekunden dauern. So wird in der Elektrolytlösung nur in unmittelbarer Nähe des Werkzeugs Material aus dem Bauteil herausgeätzt. Beim Bewegen einer zylinderförmigen Elektrode wirkt diese wie ein Miniatur-Fräser, der dreidimensionale Formen erzeugt. Um Produkte in größerer Anzahl herzustellen, lässt sich anstelle des Drahtes auch ein Stempel verwenden, in den die gewünschten Strukturen vielfach eingraviert sind. Wie die Max-Planck-Gesellschaft mitteilt, ist das Verfahren auch für weitere Materialien wie Metalle, Legierungen und Halbleiter geeignet. Zur Zeit arbeiten die Forscher daran, die Genauigkeit noch weiter zu steigern, so dass sie schließlich das Niveau lithografischer Methoden erreicht.
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