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Mess-System erfasst optisch glatte Oberflächen

Prozessüberwachung
Mess-System erfasst optisch glatte Oberflächen

Mit einem Durchmesser von rund 500 µm eignet sich der miniaturisierte Abstandssensor zum Beispiel für das Überwachen von Mikromontage-prozessen (Bild: IPT)
Ein Mess-System, das sich bei der Ultrapräzisionsbearbeitung direkt in der Werkzeugmaschine einsetzen lässt, entwickeln Forscher vom Aachener Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie (IPT). Mit einem modular aufgebauten Interferometer erfassen sie nanometergenau auch Formfehler, die sich mit herkömmlichen Verfahren nicht messen lassen. Selbst an optisch glatten Oberflächen mit steilen Flankenwinkeln soll das System einsetzbar sein. Über eine Streulichtauswertung erfasst es darüber hinaus die Rauheit innerhalb von Sekunden, wie es weiter heißt. Als Vorteile nennen die Forscher neben der hohen Messgeschwindigkeit die Sicherheit der berührungslosen Messung.

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19.2021
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