Die separate Prüfgasfülleinheit TGF11 von Inficon evakuiert und befüllt die Prüfteile autonom und kontrolliert selbstständig den Fülldruck im Prüfteil. Das Gerät hat zwei Prüfgasanschlüsse und befüllt auch mit niedrigem Druck Prüfteile in kurzer Zeit. Die intuitive Steuerung erleichtert die Einrichtung und minimiert Bedienfehler. Durch die selbstständige Evakuierung des Prüfteils nach dem Prüfvorgang verhindert der TGF11 eine Prüfgasverseuchung des Arbeitsplatzes. Für die Evakuierung kommt eine Venturipumpe zum Einsatz. Als Prüfgase kommen Helium und Formiergas in Frage. •
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