Scannen mit 200 m/s

Laserscanner | In der Mikrobearbeitung kommen immer häufiger Ultrakurzpulslaser zum Einsatz. Um die damit verbundenen hohen Laserfrequenzen voll ausschöpfen zu können, werden Scanner mit bisher nicht erreichbaren Ablenkgeschwindigkeiten benötigt. Diese Lücke schließt Raylase, Weßling, mit dem Ultra-High-Speed-Scanner UHSS. Er scannt mit 200 m/s um ein Vielfaches schneller als herkömmliche Ablenkeinheiten mit Galvanometer-Scannern. Mit ihm lassen sich die gewohnten Arbeitsfelder laut Raylase ultraschnell und hochpräzise bearbeiten. So ist es zum Beispiel mit einer F-Theta-Optik der Brennweite f = 254 mm möglich, ein Feld von 160 mm x 160 mm zu scannen. Damit lassen sich neue Anwendungsgebiete mit Ultrakurzpulslasern erschließen. Perforieren, Schneiden und Ritzen sollen in einer bisher ungeahnten Geschwindigkeit möglich sein. Hohe Zeitersparnis und damit auch eine enorme Kosteneinsparung in der Fertigung sind die entscheidenden Vorteile. So benötigt der UHSS für die Öffnung der Passivierungsschicht eines Solarwafers nur 0,3 bis 0,6 s anstatt bisher 2 bis 4 s. Weitere Anwendungsmöglichkeiten des UHSS liegen bei Applikationen mit hohem Füllgrad. •