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Hohe Durchsatzraten bei hoher Ablaufgenauigkeit

Positioniersystem
Hohe Durchsatzraten bei hoher Ablaufgenauigkeit

Hohe Durchsatzraten bei hoher Ablaufgenauigkeit
Bild: Hersteller

Eine neue Serie unterschiedlich motorisierter Kreuztische (V-731 und L-731) von Physik Instrumente (PI) arbeitet mit Geschwindigkeiten bis 200 mm/s. Dies prädestiniert sie für den Einsatz in Positioniersystemen, die hohe Ablaufgenauigkeit und -stabilität bieten sowie möglichst schnell sind, um hohe Durchsatzraten zu erreichen – in der industriellen Messtechnik und Mikroskopie ebenso wie bei optischen Inspektionsaufgaben und der Laserbearbeitung. Die bidirektionale Wiederholgenauigkeit beträgt 0,1 µm, die kleinste Schrittweite 0,02 µm. Angeboten werden die nur 310 mm × 310 mm × 80 mm großen XY-Tische mit Stellwegen von 205 mm × 205 mm. Treibende Kraft der Kreuztische sind Linearantriebe (V-731) sowie Schritt- oder DC-Motoren (L-731). Die dreiphasigen Linearmotoren übertragen die Antriebskraft ohne Reibung direkt auf die Bewegungsplattform.

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