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Nano-Technik für kontaktfreie Oberflächenmessungen

3D-Messmikroskop
Nano-Technik für kontaktfreie Oberflächenmessungen

Das 3D-Messmikroskop DCM 3D, das erstmals Konfokalmikroskopie, Interferometrie und Farbbildgebung in einem Sensorkopf verbindet, ermöglicht eine kontaktfreie 3D-Oberflächenmessungen, bei der Auflösungen bis unter 1 nm möglich sind. Das Modell wertet die Mikro- und Nanogeometrie von Werkstoffoberflächen schnell, kontaktfrei und bis auf 0,1 nm genau aus. Ein konfokales Mikrodisplay, zwei Lichtquellen und zwei Kameras erzeugen unbegrenzte Tiefenschärfe und präzise 3D-Ergebnisse. Die LED-Lichtquelle und der Sensorkopf, der ohne mechanisch bewegliche Teile auskommt, machen das System praktisch wartungsfrei. Das Modell eignet sich für Messanwendungen im Labor bis hin zu automatisierten Online-Prozesskontrollen. Beispielsweise leistet das System bei der Qualitätskontrolle von Solarzellen gute Dienste. Solarzellen werden heute zum Großteil aus mono- oder poly-kristallinem Silizium hergestellt. Bei der Produktions- und Qualitätskontrolle können mit dem Gerät entscheidende Parameter schnell gemessen werden. Hierzu zählen die Silikon-Oberflächentextur, Rauheit, die Charakterisierung der geätzten Pyramidenstruktur, die Metallkontaktierung oder die kontaktfreie Vermessung von mikrostrukturierten Glasoberflächen.

Leica Microsystems, Wetzlar, Tel. (06441) 292550, Halle 1, Stand 1324
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