Moderne Halbleiterfertigung, optische Inspektion, aber auch Produktion und Biotechnologie verlangen immer häufiger hochgenaue Positionierungen im Nano- und Subnanometerbereich. Mit einem neuen technischen Ansatz haben nun Piezoantriebe das Laufen gelernt. Sie können sich jetzt – zumindest theoretisch – beliebig weit bewegen und das bei ihrer typischen Auflösung im Subnanobereich. Die Linearantriebe sollen theoretisch unbegrenzte Stellwege bei Auflösungen von deutlich besser als 1 nm, also einem Tausendstel Mikrometer, bieten. Bei ihnen wurden Längs- und Scherpiezos, also Aktoren mit unterschiedlichen Bewegungseigenschaften, miteinander kombiniert. Entsprechend angesteuert lassen sich damit sowohl Klemm- als auch Schubbewegungen realisieren: Symmetrisch einander gegenüber sind am Läufer zwei vorgespannte Antriebsmodule angeordnet, die jeweils aus vier Stapeln mit Längs- und Scherpiezos bestehen. Die Stapel halten und bewegen den Läufer gemeinsam, dabei arbeiten immer zwei Stapel pro Modul synchron. Als Nächstes wird „umgeklemmt“, die beiden anderen Piezo-Stapel sind an der Reihe und werden angehoben. Der Bewegungsablauf wiederholt sich.
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