(ub) Die Veeco Instruments GmbH mit Sitz in Mannheim stellte auf der Fachmesse Laser 2001 ein Interferometer vor, mit dem sich hochpräzise und zudem schnelle 3D-Oberflächen-Messungen durchführen lassen. Dabei können Oberflächenhöhen im Subnanometer-Bereich bis hin zu 1 mm erfasst werden. Nach Angaben des Herstellers liefert das Modell reproduzierbare Daten unabhängig von der Beschaffenheit der Oberfläche – egal ob diese sehr glatt oder extrem rau ist. Dadurch werden auch die hohen Toleranzen erreicht, wie sie in Forschungs- und Entwicklungslabors gefordert sind. Zum Einstiegsmodell zählt die komplette Analyse-Software Wyko Vision 32, mit der sich die Mess-Ergebnisse überwachen, archivieren und benutzerfreundlich darstellen lassen. Das kalibrierfähige System besitzt einen manuellen 4″-X/Y-Probentisch sowie einen Grob- und Feinfokus. Die Neigungsjustage lässt sich optional mit einem Objektiv-Revolver ausstatten. Zusatzlinsen für eine Nachvergrößerung sind ebenfalls lieferbar. Zu den Kern-Applikationen des neuen Mess-Systems zählen neben Forschung und Entwicklung die Störanalyse, die Prozess-Steuerung und die Mikroelektronik.
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