Extrem harte, amorphe, wasserstofffreie DLC-Schichten (Diamor) werden im Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS mittels gepulster Vakuumbogenbeschichtung, dem lasergesteuerten Vakuumbogen (Laser-Arc) und dem superpulsed Arc (spARC) hergestellt. Dabei erfolgt die Beschichtung von Bauteilen und Werkzeugen durch hochenergetische Kohlenstoff-ionen aus einem gepulsten Kohlenstoffplasma, das von einer oder mehreren in einer Vakuumkammer angeordneten Graphitkathoden erzeugt wird. Besonders vorteilhaft ist der Kathodenaufbau als rotierende Walze beim Laser-Arc, weil dadurch ein gleichmäßiger Materialabtrag, hoher Ausnutzungsgrad und Langzeitnutzung der Kathode für die volle Beschichtungshöhe der Beschichtungsanlage gewährleistet wird. Beide Kohlenstoffplasmaquellen wurden in Form von Modulen zur technischen Reife entwickelt und können so in kommerziell verfügbare Beschichtungsanlagen integriert werden. Das vollautomatisch betriebene Laser-Arc-Modul (LAM 500) gewährleistet in Verbindung mit einer PVD-Hartstoffanlage eine langzeitstabile Arbeitsweise, so dass Bauteile mit Schichtdicken bis zu 10 μm unter industriellen Bedingungen beschichtet werden.
Fraunhofer IWS, Dresden,
Tel. (0351) 833913455
Teilen:
