Bis in die Nähe des mikroskopischen Bereichs lässt sich das taktile Mess-Prinzip einsetzen. Dies soll auch für das Umap Vision System Hyper 302 der Mitutoyo Messgeräte GmbH aus Neuss gelten. Es arbeitet mit einem Ultraschall-Mikrotaster, dessen Messkugel mit 30 µm Durchmesser auf einem 2 mm langen Karbonschaft sitzt. Damit seien auch Messungen in sehr feinen Bohrungen möglich.
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