Die Plasmastrahlquelle PSQ 180 eignet sich für den industriellen Dauerbetrieb im Niederenergiebereich zwischen 30 und 800 eV. Da auf eine Glühkathode verzichtet wird, ist das Gerät verschleißfrei und wartungsarm. Das Plasma generieren hochfrequente Wechselfelder im MHz-Bereich. Der zugehörige HF-Generator erreicht Leistungen von bis zu 1,5 kW. Mit der kompakten Quelle lassen sich beispielsweise ultradünne Kohlenstoffschichten (DLC) erzeugen, Oberflächen vorreinigen und aktivieren sowie gängige PVD-Verfahren plasmaunterstützen. Dank des neutralen Plasmastrahls lädt sich das Substrat nicht auf, laut Anbieter entfällt so ein teures Nachneutralisieren. bk/re
IPT, Kleinwallstadt, Tel. (06022) 2208-25
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