Über Spin-offs betreten bekannte Antriebstechnik-Hersteller die Welt der Mikrosystemtechnik. Das Marktpotenzial für solche Winzlinge schätzen Experten auf 3 Mrd. US-$ weltweit.
Nur 1,4 mm hoch und etwa so groß wie ein Pfennig sind die Elektromotoren, die Forscher am Institut für Mikrotechnik Mainz GmbH (IMM) entwickelt haben. Sie sollen zum Beispiel winzige Festplatten in internet-tauglichen Mobiltelefonen antreiben oder in der Medizintechnik eingesetzt werden. Den Markt für solche Mikroaktoren schätzt der Schweinfurter Wälzlagerhersteller FAG Kugelfischer AG auf 3 Mrd. US-$. Er hat zusammen mit den IMM-Forschern ein Unternehmen für diesen Sektor ins Leben gerufen: Die Mymotors-Actuators GmbH mit Sitz in Wendelsheim, deren Gesellschafteranteile zu 75 % dem Schweinfurter Konzern gehören, hat in diesem Jahr ihre Geschäftstätigkeit aufgenommen. Vor allem das Fertigen der Spule erfordere besonderes Know-how, da diese nicht gewickelt, sondern geätzt wird.
Mikrogetriebe vom Harmonic-Drive-Typ will die im März 2001 gegründete Limburger Micromotion GmbH anbieten: Durchmesser 8 mm, axiale Länge 1 mm. Die nur 56 µm breiten Zähne und der Flexspline mit einer Ringdicke von 40 µm sind erst unter dem Mikroskop zu erkennen. Laut Hersteller lassen sich Untersetzungsverhältnisse von 500:1 bis zu 1000:1 erreichen bei einer Wiederholgenauigkeit von unter 10 Winkelsekunden. Für die Fertigung verwenden die Limburger in Zusammenarbeit mit dem IMM das mikrotechnische Liga-Verfahren, dem sie einen weiteren Abformungsschritt hinzugefügt haben.
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