Ein neues Fertigungskonzept für großflächig strukturierte elektronische Schaltungen mit gleichzeitig hoher Auflösung hat das Laser Zentrum Hannover (LZH) in Kooperation mit Partnern untersucht. In einem ersten Schritt werden Leiterbahnen auf eine Substratfolie durch ein vakuumbasiertes Beschichtungsverfahren aufgebracht. Danach werden diese Dünnschichtstrukturen bei hoher Prozessgeschwindigkeit mit dem Laser feinstrukturiert. Die Laserstrukturierung lässt sich flexibel und einfach programmieren; mit geringem technischem Aufwand kann sie Dünnschicht-Schaltkreise unterschiedlicher Auflösung nahtlos miteinander kombinieren, heißt es. So lassen sich gezielt Stellen mit besonders hoher Strukturauflösung herausarbeiten. Der Aufwand an (Edel-)Metallen sei gering.
LZH, Halle 6, Stand F24
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