Mit der Mini-Test-700-Serie und SIDSP-(Sensor-Integrated-Digital-Signal-Processing)-Technik bietet Elektro-Physik ein Verfahren zur Schichtdickenmessung an, bei dem die Anregungssignale für den Messkopf komplett im Sensor digital erzeugt und gesteuert werden. Das Besondere an dem Verfahren sei, dass hier – im Gegensatz zu den bisherigen analogen Verfahren – kein Verlust und keine Störung bei der Übertragung der Daten über das Sensorkabel stattfindet. Die vom Sensor zurückkommenden Messsignale werden direkt vor Ort in digitaler Form gewandelt und digital weiterverarbeitet – bis hin zum fertigen Schichtdickenwert. Der entscheidende Vorteil für den Anwender soll die extreme Störunempfindlichkeit der Sensoren sein. Da die komplette Datenerzeugung und Aufbereitung digital im Sensor stattfindet, übernimmt das Sensorkabel hier nur die Stromversorgung und die Datenübertragungsfunktion für die fertigen Schichtdickenwerte. Laut Hersteller sind alle Sensoren sehr stabil und bieten eine hohe Reproduzierbarkeit bei einer geringen Toleranz.
Elektro-Physik Dr. Steingroever, Köln, Tel. (0221) 75204-0
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