Das Ziel von MST ist es, verschiedenste Funktionen auf kleinstem Raum zu realisieren. Zwei Bücher aus dem Verlag B. G. Teubner, Stuttgart, befassen sich mit dieser Thematik:
– Mikroroboter und Mikromontage
Die flexible roboterbasierte Mikromontage samt spezieller Planungs- und Steuerungstechniken wird heute als die Schlüsseltechnologie zur industriellen Beherrschung von MST angesehen. Zum ersten Mal, so der Verlag, wird mit diesem Buch eine systematisierte Gesamtsicht auf die Problematik rund um Mikromontage und Mikroroboter gegeben: ein verständlicher Überblick über die wichtigsten Aspekte sowie Beispiele zu bereits erzielten praktischen Ergebnissen.
Mikroroboter und Mikromontage, S. Fatikow, 2000, 382 Seiten, 98 DM
– Mikrosystemtechnik
Neben grundlegenden Konzepten werden in diesem Buch detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zu den Themen gehören: Werkstoffe und technologische Grundlagen, Herstellungsverfahren, Mikromechanische Sensoren, Aktorik und Optik in der MST sowie Systemtechniken. Zahlreiche Übungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen sowohl der Selbstkontrolle als auch der Festigung des behandelten Stoffes.
Mikrosystemtechnik – Konzepte und Anwendungen, U. Mescheder, 2000, 323 Seiten, 76 DM
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