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Piezo-Schrittmotor positioniert nano-genau

Nano-Antrieb
Piezo-Schrittmotor positioniert nano-genau

Die Nano-PZ-Reihe empfiehlt der Hersteller für besonders anspruchsvolle Positionieraufgaben im Nanometerbereich, beispielsweise in der Forschung oder der Halbleitertechnik. Die Einheiten bestehen aus einem kompakten Linearantrieb PZA12, dem Controller PZC200 und der Switchbox PZC-SB. Von herkömmlichen Piezo-Antrieben unterscheiden sie sich laut Anbieter dadurch, dass sie mit einem eigenen Piezo-Schrittmotor ausgestattet sind und höhere Lasten mit relativ großer Geschwindigkeit transportieren können: Der Piezomotor biete Verfahrwege von 12 mm mit einer Einstellempfindlichkeit von 30 nm bei einer Geschwindigkeit von bis zu 0,2 mm/s und einer Belastbarkeit von 50 N. Die Position soll auch dann gehalten werden, wenn die Spannungsversorgung abgeschaltet wird. Die Bewegungskontrolle kann manuell oder über Computer erfolgen. os

Newport, Darmstadt, Tel. (06151) 708-0
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