(bk) Für trockene und nasse Prozesse in der Halbleiterfertigung bietet der Hersteller chemisch beständige Dichtungen an: Der Perfluorelastomer-Typ Kalrez Sahara Plasma 8575 soll sich für trockene Prozesse eignen. Für Nassverfahren sind die Dichtungen Kalrez 6375 UP vorgesehen. Selbst unter Einwirkung von chlorierten Reinigungsgasen und Fluorplasma gast Kalrez Sahara Plasma laut Hersteller kaum aus und behält seine guten elastischen Rückstell-Eigenschaften, selbst im Dauereinsatz bei Temperaturen bis 280 °C. Bei Temperaturen bis 275 °C im Dauergebrauch soll Kalrez 6375 UP trotz aggressiver Chemikalien, Amine, Säuren und Basen seine mechanische Festigkeit behalten.
Dupont Dow, Bad Homburg,
Tel. (06172) 87-1350
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