Standzeit von trocken laufenden Vakuumpumpen verdoppelt

Allgemein
Standzeit von trocken laufenden Vakuumpumpen verdoppelt

28. März 2001

1 Minuten Lesezeit

(os) Die trocken laufenden Vakuumpumpen Duradry arbeiten nach dem Schraubenprinzip, um eine hohe Zuverlässigkeit für Halbleiter-Anwendungen zu erreichen. Laut Anbieter verdoppelt sich die Standzeit. Als Besonderheit nennt er die „Split-flow“-Konstruktion: Das Gas tritt in der Mitte des Rotors ein und zu beiden Enden wieder aus.

Leybold Vakuum, Köln, Tel. 0221/347-1303

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