Zum Thema Nanotechnologie zeigt das Dresdner Fraunhofer-Institut Werkstoff und Strahltechnik (IWS) aktuelle Techniken, mit denen sich ultradünne Schichten erzeugen lassen (Halle 5, Stand D10). Schwerpunkte liegen in den Bereichen neue Bauelemente, Nanometer-Schutzschichten sowie biomolekulare Schichten für Medizin und Technik. Zu sehen ist beispielsweise ein so genannter Nanometer-Röntgenspiegel. Laut IWS ist es möglich, wenige Nanometer dünne Multischichtsysteme exakt abzuscheiden. Solche röntgenoptisch aktiven Beschichtungen sollen eine zentrale Komponente für das Lithographieverfahren der nächsten Generation darstellen. bk/re
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