Elektromagnetventile | Speziell für den Einsatz in Hochvakuumsystemen hat SMC die Serie XSA von stromlos geschlossenen Hochvakuum-Elektromagnetventilen überarbeitet. Zu den Neuerungen zählen zum Beispiel die Verringerung von Leckagen durch eine größere Feder und die geringe Bildung von Partikeln. Klemmverbindungen oder die alternativen frontdichtenden Verschraubungen sichern die Anschlüsse an hochgradig luftdichte Leitungen. Die Teile, die mit Gas in Berührung kommen, bestehen aus korrosionsbeständigem Material: rostfreier Stahl, Fluorkarbon-Kautschuk (FKM) und Kunststoff (PPS und PET). Zusätzlich verfügbar sind Spannungsoptionen von 24 bis 230 V AC, der Temperaturbereich umfasst nun 5 bis 60 °C.
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