Lineartische | Physik Instrumente (PI) setzt in der Lineartisch-Serie N-565 piezoelektrische Schreitantriebe ein. Das Antriebsprinzip ermöglicht eine Wiederholgenauigkeit im Bereich weniger Nanometer, hohe Führungsgenauigkeit und hohe Kraft in einer kompakten Einheit. Die Versteller sind 65 mm breit und nur 20 mm hoch und arbeiten mit Stellwegen von 13, 26 oder 52 mm. Die Länge variiert in Abhängigkeit von den Stellwegen und beträgt 80, 110 oder 160 mm. Als Wegmesssystem für die Positionsregelung setzt der Hersteller einen selbst entwickelten optischen Linearencoder ein, der auf einem integrierten Mach-Zehnder-Interferometer basiert. Das Messprinzip ermöglicht eine Auflösung von 0,5 nm und eine kleinste Schrittweite von 2 nm.
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