Beim modularen Anlagenkonzept der Metaplas-Domino-Serie von Sulzer Metaplas steht das gesamte Spektrum der Dünnfilm-Beschichtungstechnologien zur Verfügung. Neben PVD- und PACVD-Modulen, der Realisierung von Kombibehandlungen (Kombination von PVD-Beschichtung und Plasmanitrieren) und Hybridtechnologien (Kombination von Arc- und Sputtertechnologie) bietet das Anlagenkonzept mit seiner HIPAC (High Ionisation Plasma Assisted Coating)-Technologie einen innovativen Ansatz in der Oberflächenbeschichtung an. Die HIPAC-Technologie stellt eine Weiterentwicklung des hochionisierten Prozesses HPPMS (High Power Pulsed Magnetron Sputtering) dar und wurde speziell auf industrielle Bedürfnisse ausgelegt. Sie verbindet die Vorteile der HPPMS und der patentierten hoch effizienten Ätztechnololgie AEGD (Arc-Enhanced Glow Discharge). Diese Technik ermöglicht einen hohen Ionisationsgrad ähnlich dem Arc-Prozess. Durch die hohe Plasmadichte können besonders fehlerfreie Schichten mit hoher Dichte erzeugt werden. Die Schichten sind dabei sehr glatt und bereits ab einer Temperatur von 60 °C haftfest applizierbar.
Sulzer Metaplas, Bergisch Gladbach, Tel. (02204) 299-0, Halle 5, Stand B33
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