Der neue MCS-Kreuztisch von PI Micos besitzt eine Nanometerauflösung für industrielle Anwendungen und bewältigt Traglasten bis 20 kg. Seine Leistungsmerkmale erhält das System durch die Zusammenführung von mechanischen und elektronischen Präzisionskomponenten. Mit einem optional erhältlichen Linearencoder, basierend auf einem interferometrischen Wegmesssystem, erreicht der Kreuztisch eine Auflösung von 5 Nm bei einer Wiederholgenauigkeit von 0,2 µm und einer Positioniergenauigkeit von 3 µm auf den gesamten Stellweg von 102 mm je Achse. Geringe Geradheits- und Ebenheitsabweichungen in der XY-Bewegungsebene von <2 µm sprechen für die hohe Präzision des Systems. Der MSC wird von DC-, Schritt- oder magnetischen Linearmotoren angetrieben. Im System mit einem SMC Hydra Motion Controller erreicht der Tisch einerseits Geschwindigkeiten bis 200 mm/s, andererseits ist er in der Lage, sich mit Geschwindigkeiten von <1 µm/s konstant zu bewegen. Anwendungsgebiete sind Oberflächenmesstechniken wie Topologiemessungen an Werkstücken und Optiken oder Strukturmessungen an Halbleiterwafern.
PI Micos, Eschbach, Tel. (07634) 5057-233
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