Physik Instrumente (PI) ersetzt im N-603 einen klassischen piezoelektrischen Aktor durch einen hochauflösenden Piezoschreitantrieb der Nexact-Serie mit theoretisch unbegrenztem Stellweg. Reibungsfreie Festkörpergelenke aus Titan führen die Bewegung mit einem Übersprechen von wenigen Mikrometern. Als Positionssensor dienen Dehnmessstreifen mit einer Linearität von ca. 0,25 %, was zu einer Positioniergenauigkeit von circa 5 µm auf dem gesamten Stellweg führen soll. Der positionsgeregelte Linearaktor mit einer Höhe von 7,4 mm und einem Stellweg von 2 mm kann aufgrund seiner Führungs- und Sensortechnik unter starken magnetischen Feldern oder im Vakuum verwendet werden. •
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