Röntgenstrahlen produzieren im Mikro- und Nanobereich

Lange galt das Liga-Verfahren (Lithografie, Galvanisierung und Abformung) mit Röntgen- statt UV-Strahlung als unzuverlässig, teuer und langsam. Bis sich Wissenschaftler des KIT ausgründeten, um den Prozess fit zu machen: Mit Unterstützung mehrerer Förderer, darunter dem BMWi, optimierte die Microworks GmbH die Röntgen-Lithografie.

Big Player auf der Nachfrageseite erkannten das Potenzial der Neuentwicklung: Neben Uhrenherstellern aus der Schweiz greifen auch Technologieunternehmen und selbst die kalifornische Elite-Uni Stanford auf Mikrobauteile aus dem „Ländle“ zurück – für die Bereiche Mikrooptik und -mechanik, Röntgenbildgebung oder als Anlagenkomponenten, um Masken für die Halbleiterlithographie zu fertigen. Die Auftraggeber schätzen laut Microworks-Chef Dr. Joachim Schulz die mit traditionellem UV-Liga nicht zu erreichende Präzision der Teile sowie die Zeit- und Kostenersparnis durch kurze Entwicklungszyklen.

Inzwischen lassen sich mit den extrem parallelen Röntgenstrahlen des Karlsruher Synchrotrons „ANKA“ bei Bauteilen nicht nur ein Aspektverhältnis von nahezu 100 realisieren (also die Relation von Höhe zu Dicke), sondern auch sehr glatte Bauteil-Seitenwände.

„Können Sie das wirklich? Solche Zeichen von Überraschung hören wir mitunter noch heute“, sagt Schulz, der die Liga-Technologie zwischen Mikro- und Nanotechnik verortet. Gegenstand der Verwunderung: Mit den hoch präzisen Mikrobauteilen seien häufig sogar völlig neue Systemfunktionen möglich – und weil das verwendete Reingold inert ist, gerade auch in der Medizintechnik. •