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Sechs Achsen präzise positionieren

Vakuum-kompatible Hexapoden
Sechs Achsen präzise positionieren

Sechs Achsen präzise positionieren
Die Hexapoden sind für unterschiedliche Anwendungen geeignet, zu denen etwa die Oberflächenchemie oder die Röntgenstrukturanalyse gehören Bild: Newport
Die Hexapoden der Serie HXP50 und HXP100 von Newport sind jetzt auch in vakuum-kompatiblen Ausführungen erhältlich. Mit Belastbarkeiten von 5 und 20 kg eignen sich die kompakten Modelle zum Beispiel für die hochpräzise Positionierung in Reinraumumgebungen wie bei der Fertigung und Prüfung von Halbleitern und Optiken.

Hexapoden sind extrem präzise Lösungen zur Positionierung von Lasten in allen sechs Freiheitsgraden. Durch ihren parallelkinematischen Aufbau sind sie deutlich kompakter als seriell gestapelte Mehrachsensysteme und bieten dank geringerer bewegter Masse eine bessere Dynamik und Steifigkeit. Die Hexapoden von Newport wiederlegen dabei das Vorurteil, dass Systeme dieser Bauart extrem teuer und in der Anwendung anspruchsvoll sein müssen. In Verbindung mit dem speziell dafür entwickelten Controller, der mit diversen analogen und digitalen Schnittstellen sowie einer umfangreichen Bibliothek an Steuerbefehlen und Treibern ausgestattet ist, lassen sich auch sehr komplexe Bewegungsabläufe in frei definierbaren Koordinatensystemen schnell und einfach realisieren. So kann beispielsweise ein Fixpunkt für die Rotation beliebig festgelegt und mit einem einfachen Steuerbefehl verändert werden.

Der HXP50-V6 und HXP100-V6 werden durch sechs für den industriellen Einsatz optimierte Hochleistungsaktuatoren angetrieben und sind mit speziell beschichteten, reibungsarmen Kugelgelenken ausgestattet. Das Ergebnis ist eine im Vergleich zu ähnlich kompakten Hexapoden bis zu fünffach höhere Steifigkeit bei doppelter Tragkraft. Die beiden Vakuum-Hexapoden ergänzen das umfangreiche Produktportfolio von Newport im Bereich der hochpräzisen Positionierung in Reinraum und Vakuumumgebungen um eine flexibel einsetzbare und zugleich wirtschaftliche Lösung. ub
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