Wiederholgenauigkeit im Nanometerbereich

Luftlager-Positioniertische haben sich in vielen Applikationen bewährt, etwa bei präzisen Scanning-Anwendungen oder Positionieraufgaben in Reinräumen. Die Luftlager arbeiten reibungsfrei, es entsteht kein Abrieb, die Geschwindigkeit der vibrationsfreien Bewegung lässt sich sehr genau regeln und die Wiederholgenauigkeit liegt im Nanometerbereich. Für die PIglide Luftlager-Positioniertische, die mit linearen oder rotativen Servomotoren mit Direktantrieb und hochauflösenden Encodern arbeiten, bietet Physik Instrumente (Halle 17, Stand D26), jetzt modular aufgebaute Hochleistungs-Motion-Controller an, die sich für vier, sechs oder acht Achsen eignen. Die neue Motion-Controller-Serie A-82x integriert Controller, Treiber und Netzteile in einem kompakten 4-HE-19“-Rack, kann aber auch für OEM-Anwender in anderen Aufbauvarianten angeboten werden. Sie liefern je nach Anzahl der angesteuerten Achsen eine Dauerleistung von 1100 bis 2000 W, bei bis zu 3900 W Spitzenleistung.