(bk/tp) Die Reinraumroboter der Serie AR-W sind jetzt mit zwei Armen erhältlich. Dadurch soll sich der Durchsatz bei der Produktion steigern lassen. Während ein Arm beispielsweise einen Wafer von der Bearbeitungsmaschine entnimmt, führt der zweite bereits den nächsten Wafer zu. Ausgelegt für die Reinraumklasse 1, sind die Roboter für die hohen Anforderungen in der Halbleiterindustrie geeignet. Durch die kleine Standfläche wird die Luftströmung nicht behindert. Bei einem Arbeitsbereich von 600 mm soll das Handhabungsgewicht pro Arm bei 500 g liegen. Auf Wunsch können die Roboter mit einer entsprechenden Positionier-, Ablauf- oder Zellsteuerung ausgerüstet werden.
Hirata, Mainz, Tel. 06131/9413-0
Halle 17, Stand E51
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