Profilmessung | Mit dem Profilmessgerät FL-800 von Kunz Precision (Halle 1, Stand 1050) lassen sich Geradheiten hochgenau messen. Die Neuentwicklung ist in den Qualitätssicherungsprozess der Wafer-Fertigung eingebettet. Kernelement ist der Vakuum-luftgelagerte Messschlitten. Er gewährleistet Luftlagerstabilitäten von wenigen Nanometern. Eine raffinierte Führungsauslegung und der entkoppelte motorisierte Antrieb ermöglichen die hohen Genauigkeiten. Die eigens entwickelte Software T-Soft-FL steuert die Messungen, danach erfolgen automatisch die Auswertungen, welche auch grafisch dargestellt werden können. Optional kann die Genauigkeit des Geräts durch den Bediener mittels spezieller Kalibriervorrichtung überprüft und verifiziert werden. •
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